电子显微镜的使用方法

问题描述

精选答案

分析电子显微镜是一种兼有传统透射电子显微镜功能和扫描透射电子显微技术（STEM)观察扫描透射像，进行微区分析和微衍射等方面研究的电子显微镜。包括扫描透射电子显微系统、能量色散谱仪（EDS)或电子能量损失谱仪（EELS)。是在透射电镜中附加扫描线圈，使电子束在薄膜试样表面扫描，探测器在试样的上方可探测二次电子，获得二次电子像；探测器在试样下方可探测透射电子，经电子放大系统获得与质量、厚度有关的形貌像，即扫描透射像。其衬度优于一般透射电镜的形貌像，分辨率优于扫描电镜，达1.5nm。可以在进行晶体结构分析的同时进行微区成分分析，估计试样中杂质含量，扩大了透射电镜的应用范围。