d263t材料参数

问题描述

精选答案

技术参数：

a)材料：康宁E-XG、PYREX7740、石英玻璃、BOROFLOAT、B270、D263T、AF32、BK-7

b)标准厚度：0.1mm、0.145mm、0.2mm、0.3mm、0.4mm、0.5mm、0.7mm、1.0mm、1.1mm、1.5mm（厚度公差±0.02mm）

c)标准尺寸：Φ2"、Φ3"、Φ4"、Φ5"、Φ6"、Φ8"、Φ12"（其他尺寸可定制）

d)外观：60/40；40/20；20/10

e)表面粗糙度(Ra)<1.5nm

f)平行度<0.01mm

康宁E-XG玻璃晶圆基本性能：

技术参数：

Density/密度（g/cc）

2.3

Thermal Expansion/膨胀系数

3.0

Tran**ittance/透光率

＞90%

softening point/软化点

971℃

TTV/平整度

<0.005

Bow/翘曲度

<0.01

Warp/弯曲度

<0.01

Vickers Modulus/维氏硬度

640