DI曝光机的原理

问题描述

精选答案

曝光机工作原理是:

在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物（通常称为电子抗蚀剂或光刻胶）进行曝光，受电子束辐照后的光刻胶，其物理化学性质发生变化，在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域的，从而在抗蚀剂上形成精细图形的。