原子探针层析技术的优缺点

问题描述

精选答案

该技术结合了高空间分辨率和高化学灵敏度。 空间分辨率的深度为0.3nm，横向为0.5nm。 大多数元素的化学敏感度为几十ppm。

APT需要将样品制备成针状，其顶端半径为50-100 nm。 低温冷却针样品（25-100K）用DC电压（2-15 kV）偏置。在针尖处产生的静电场（几十V / nm）与脉冲激光或脉冲电压相结合，触发一个或多个原子从顶点表面蒸发。使用位置敏感探测器（PSD）记录每个探测到的离子的位置，同时基于飞行时间计算化学特性。