光刻机种类有哪些

问题描述

精选答案

有euv光刻机、duv光刻机等种类。

光刻机按不同类型可分为不同种类，比如接触式光刻机、直写式光刻机、投影式光刻机、干法光刻机、浸润式光刻机等，这些是使用方式分类。常见的分类还有光源分类，比如高端euv极紫外光光源光刻机、duv深紫外光光源光刻机、i线光刻机、g线光刻机，还有krf、arf光刻机等。