什么是mems技术

问题描述

精选答案

MEMS（Micro Electro Mechanical System）是一种微型化的电子机械系统技术，将微纳制造技术、电子技术和机械技术相结合，制造微型化的传感器、执行器和微机电系统等。

该技术具有体积小、重量轻、功耗低、响应快等优点，被广泛应用于汽车、医疗、航空航天等领域。

其他回答

电源工程师

MEMS就是将传统传感器的机械部件微型化后，通过三维堆叠技术，例如三维硅穿孔TSV 等技术把器件固定在硅晶元(wafer)上。

最后根据不同的应用场合采用特殊定制的封装形式，最终切割组装而成的硅基传感器。