cvd废气处理流程

问题描述

精选答案

cvd尾气，即在利用化学气相沉积/化学气相渗透(简称：cvd/cvi)制备复合材料时产生的尾气。在cvd/cvi制备陶瓷基复合材料过程中，炉内通入h2、ar及有机硅烷，发生多级反应后的尾气中包含未分解的有机硅烷、反应产物hcl、分解产物焦油、沉淀产物粒子和稀释ar等。粘度较大的有机物还会影响泵油流动性，导致真空泵转子的运转能力下降，造成真空泵抽力不足或者开启困难(卡泵)以及真空泵异常磨损等现象，影响正常的制备工艺。

因此，现有的尾气处理装置不能充分的对cvd尾气进行过滤处理，且设备占用较大场地面积。

其他回答

考研老男孩

1. CVD废气处理流程包括物理吸附、化学吸附、催化氧化等步骤。

2. 物理吸附是利用吸附剂表面的孔隙结构吸附废气中的有机物质，化学吸附是利用吸附剂表面的化学反应吸附废气中的有机物质，催化氧化是在高温高压下利用催化剂将废气中的有机物质氧化分解为无害物质。

3. CVD废气处理流程的包括吸附剂的选择、催化剂的选择、反应条件的控制等方面，以及废气处理后的排放标准和环保效益等方面。