硅片晶体生长常用的分类号是什么

问题描述

精选答案

硅片晶体生长常用的分类号是C30B25/00。

硅片晶体生长过程包括将沙子、矿石中的二氧化硅经过纯化，制成纯度98%以上的硅；高纯度硅经过进一步提纯变为纯度达9N（99.9999999%）至11N（99.999999999%）的超纯多晶硅；超纯多晶硅在晶体生长设备中的石英坩埚内熔化，放入籽晶确定晶向，经过单晶生长，制成具有特定电性功能的单晶硅锭。再通过切片、研磨、抛光等硅片制造工艺得到硅片。