什么是光伏ald设备

问题描述

精选答案

是一种特殊的真空薄膜沉积方法，具有较高的技术壁垒。

通过ALD 镀膜设备可以将物质以单原子层的形式一层一层沉积在基底表面，每镀膜一次/层为一个原子层，根据原子特性，镀膜 10 次/层约为 1nm。

读起来可能有点拗口，用图例可能会看得更清晰一点。