步进式光刻机与接触式光刻机有什么区别

问题描述

精选答案

曝光方式不同。接触式光刻机曝光就是将掩膜与还没加工基片的光胶层直接接触并进行的曝光，通常是一次性完成基片曝光。

步进式光刻机曝光是指掩膜和基片的光胶层不直接接触来实现图形复印的曝光，该过程是一个反复曝光重复步进扫描的过程，投影物镜倍率通常为4：1，既掩膜板为晶圆图形的4倍，所以要用到双工件台这种高精度移动部件组。