ppba是什么单位

问题描述

精选答案

ppba是碳杂质浓度的单位。

半导体工业里定义 每立方厘米硅中有5e22个硅原子 ppmw、ppbw是以质量计的浓度，w是weight（重量） ppma、ppba是以原子数计的浓度，a是atom（原子） 如果要将高纯硅中痕量杂质的原子密度转换为质量浓度（ppmw或者ppbw） 可以用： 杂质的原子密度×杂质元素的原子量/（5e22×28）=杂质的质量浓度 （ppmw或者ppbw） 如果要将高纯硅中痕量杂质的原子密度转换为原子数浓度（ppma或者ppba） 可以用： 杂质的原子密度/5e22=杂质的原子数浓度 （ppma或者ppba） 关键是这个半导体工业中对每立方厘米中硅原子数的规定，