磁控线生产原理
问题更新日期:2024-10-17 17:53:27
问题描述
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磁控线是物理气相沉积的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料,且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点,而上世纪 70 年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅射,必须有效地提高气体的离化率。
磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场,利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。
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磁控管内部都有一磁场,在阴阳级间加负高压(三千六百多伏),灯丝(3.6V)烘烤磁控管栅级,栅板上的电子溢出,在内置磁场与外加电场双重作用下,电子以圆周螺旋运动打到阳级,而阳级上有很多腔室,叫谐振腔,电子打到谐振腔上就产生振荡,直致额定频率,后由天线






