三氯氢硅合成工艺流程

问题描述

精选答案

包括:液氯汽化、氯化氢合成、三氯氢硅合成、合成尾气回收。

来自液氯库的氯气和来自氢氧站的氢气或干法回收的氢气,各自控制其缓冲罐的压力在0.15MPa,按照1∶1.05～1.1(摩尔 比)配比在氯化氢合成炉内混合燃烧,生成氯化氢气体,合成炉表面温度控制在300～350℃左右;氯化氢经过空冷、水冷、 雾沫分离、-35℃深冷、雾沫分离等措施,此时氯化氢的含量达到95%以上,含水量在1‰以下,然后进入氯化氢缓冲罐。