小外延条件项是指什么

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精选答案

非也非也！外延层是指生长沉积在衬底上的那一部分，外延片是外延层加上衬底。

外延层的厚度比衬底的厚度小很多，微米级别的。蓝宝石衬底在生长外延层之前一般都要进行pss处理以减小晶格失配，增加沉底和外延层的结合力，另外经过pss衬底处理过的衬底有助于光参数的提升，另外一个提升光参数的方法还有se（侧壁腐蚀）。