湿制程设备有哪些

问题描述

精选答案

湿制程设备包括了电镀、清洗、湿法刻蚀等。

设备功能：

1）电镀设备：将电镀液中的金属离子电镀到晶圆表面，以形成金属互连；

2）清洗设备：去除晶圆表面的残余物、污染物等；

3）湿法刻蚀设备：通过化学刻蚀液和被刻蚀物质之间的化学反应将被刻蚀物质剥离下来。

所用材料：电镀液、清洗液、刻蚀液等。