为什么扩散泵要预热

问题描述

精选答案

扩散泵不是需要预热、而是需要加热，这是扩散泵的工作原理，跟处于什么工艺下进行没有关系。

扩散泵属于增压泵，单独是不可以使用的，必须串联机械泵，如旋片泵、滑阀泵等。

扩散泵的工作条件是全压强小于10pa才可以开启加热炉。

扩散泵没有电机，是通过电炉加热使油蒸发，然后冷凝的一个往复运动，期间将空气通过机械泵排出，这是扩散泵的工作原理。

一边情况下我们建议：机械泵的全压强真空度达到2pa以内，开启电炉，后经过40-80分钟的加热扩散泵进行正常的工作。（加热期间真空度也在提升。开始阶段如5-10分钟时真空度可能下降）