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扩散泵抽速慢的原因

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问题更新日期:2024-10-17 21:20:23

问题描述

扩散泵抽速慢的原因求高手给解答
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你说的扩散泵漏水,应该是扩散泵上口两根进出水管漏水,这地方管接头封圈因高温(通冷却水的时间晚了)老化造成漏真空,漏水,甚至溶焊漏水.(这种情况一般不会发生),解决方法,一般的是更换接头封圈,更换硅油或扩散泵油