电子级磷酸是什么意思

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精选答案

电子级磷酸属于高纯磷酸,广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器(TFT-LCD)等微电子工业。

它主要用于芯片的清洗与蚀刻,其纯度与洁净度对电子元器件的成品率、电性能及可靠性有很大影响,纯度较低的主要用于液晶面板部件的清洗(面板级),纯度高的用于电子晶片生产过程的清洗与浊刻(称为IC级)。电子级磷酸还可用于制备高纯磷酸盐,也就是高纯有机磷产品的主要原料,另外还可用作超高纯试剂与光纤玻璃原料等。