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集成电路中隔离区是

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问题更新日期:2024-10-17 23:07:36

问题描述

集成电路中隔离区是求高手给解答
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半导体集成电路通常包含有 源区和位于有源区之间的隔离区,器件通常是在有源区中形成。

在衬底表面 的某些有源区域用于数据的存储,这里称之为存储单元区;而某些有源区域 用于周边控制电路,这里称之为周边电路区。

通常在存储单元区和周边电路 区的有源区之间都形成浅沟槽隔离结构以起到有源区之间的绝缘和隔离作用