为什么在金刚石 成长过程中加入氮气会提高生长速率

问题描述

精选答案

实验发现,在较低的氮气流量下,金刚石膜的生长速率增加,在较高的氮气流量下生长速率减小。

利用SEM、Raman光谱、XPS等测试手段对样品的表面形貌及品质进行了表征。

结果表明,当氮气流量为4sccm时金刚石膜的结晶比较完整;当氮气漉量为8sccm时生成与(100)面共存的“莱花状”.氮气流量的进一步增加,“菜花”表面(100)晶面显露的数量明显降低,非金刚石碳含量和氮杂质含量增加,金刚石膜的品质明显下降