mems的前景

问题描述

精选答案

MEMS以微型传感器和传动器使系统具备感知和控制能力，是系统的眼睛和手臂。

美国政府曾通过国家科学基金对MEMS的早期研究与开发提供了大力支持。其投资增长很快，1991年投入的资金只有约300万美元，而1995年就达到了3500万美元，主要来自美国国防部。