光刻用什么波长的光

问题描述

精选答案

集成电路制造中利用光学- 化学反应原理和化学、物理刻蚀方法，将电路图形传递到单晶表面或介质层上，形成有效图形窗口或功能图形的工艺技术。

常规光刻技术是采用波长为2000～4500埃的紫外光作为图像信息载体，以光致抗蚀剂为中间（图像记录）媒介实现图形的变换、转移和处理，最终把图像信息传递到晶片(主要指硅片)或介质层上的一种工艺。

其他回答

铁建筑路人

,国内研究的光刻技术使用的是405nm波长的激光就实现了NA=0.9的衍射突破,可以制备5nm线宽工艺,