单晶炉运行时球阀关闭，界面显示正常，实际球阀关闭什么原因

问题描述

精选答案

(一)真空度抽不到指标

真空密封室密封不良 2.球阀处密封松动或损坏 3.真空泵有故障

对真空室进行分段检验确定漏气点,进行排除 2.调整球阀或更换密封圈 3.参阅真空泵说明书,针对性维修

(二)埚升不稳

丝杠、螺母有污物,润滑不良 2.电磁离合器工作不良 3.同步带松动或工作不良 4.给定电位器接触不良 5.测速电机有问题 6.电机抖动