什么是光刻机生产工艺节点

问题描述

精选答案

工艺节点就是工艺制程。

工艺节点(nodes)是反映集成电路技术工艺水平最直接的参数。目前主流的节点为28nm、20nm、16/14nm、10nm、7nm等。传统上(在28nm节点以前)，节点的数值一般指MOS管栅极的最小长度(gatelength)，也有用第二层金属层(M2)走线的最小间距(pitch)作为节点指标的。所以大体来说工艺节点就是指工艺制程，也就是栅极宽度，通俗来说就是5纳米、7纳米、14纳米等。

其他回答

小川考研录

光刻机的生产节点芯片的线路尺寸小到及限的时候这个尺寸就是节点。