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刻触机和光刻机相同吗

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问题更新日期:2024-10-18 23:48:00

问题描述

刻触机和光刻机相同吗急求答案,帮忙回答下
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明显不相同

光刻机把图案印上去,然后刻蚀机根据印上去的图案刻蚀掉有图案(或者没有图案)的部分,留下剩余的部分。

“光刻”是指在涂满光刻胶的晶圆(或者叫硅片)上盖上事先做好的光刻板,然后用紫外线隔着光刻板对晶圆进行一定时间的照射。原理就是利用紫外线使部分光刻胶变质,易于腐蚀。

“刻蚀”是光刻后,用腐蚀液将变质的那部分光刻胶腐蚀掉(正胶),晶圆表面就显出半导体器件及其连接的图形。然后用另一种腐蚀液对晶圆腐蚀,形成半导体器件及其电路。

其他回答

不一样,相差太大了,光刻是半导体集成电路制作工艺中的关键的一步,而光刻机正是用来光刻的,刻录机是电脑中用来刻录光盘的.