制造igbt需要刻蚀机么

问题描述

精选答案

需要用到蚀刻机。

IGBT模块是由绝缘栅双极型晶体管芯片与续流二极管芯片，通过特定的电路桥接封装而成的模块化半导体产品；封装后的IGBT模块直接应用于变频器、UPS不间断电源等设备上。IGBT是芯片的一种，主流工艺制程为65nm左右，所以需要用到光刻机，同样也需要用到蚀刻机。