化学气相镀膜使用什么气体

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精选答案

化学气相镀膜常使用的气体包括硅烷、氨气、二甲基硅烷、四氯化硅等。这些气体在高温下分解产生活性物种，与基底表面反应形成薄膜。不同气体可以用于不同的应用，例如硅烷可用于制备硅氧化物薄膜，氨气可用于制备氮化物薄膜。选择合适的气体对于获得所需的薄膜性质至关重要。