led芯片制造流程中使用的设备

问题描述

精选答案

LED芯片制造常用设备

清洗机:用于外延片表面清洗。

光罩对准抛光机:用于LED光罩对准曝光微影制程。该设备是利用照相的技术JANTX2N7225定义出所需要的图形,因为采用感光剂易曝光,得在黄色灯光照明区域内工作,所以其I作的区域叫做“黄光区”。

单电子枪金属蒸镀系统:用于金属蒸镀(ITo,Al,△,Au,Ⅺ,Mo,Pd,Pt,Ag);金属薄膜欧姆接触蒸镀(四元LED,蓝光LED,蓝光LD)制程。

光谱解析椭圆测厚仪:半导体薄膜厚度及折射率监测。