等离子清洗设备不起辉

问题描述

精选答案

设备不起辉主要有两个方面：

一是真空度不够，仪器正常工作时真空度一般在70-100Pa之间。

二是主机设备出现故障，你可以找一个短一点的日光灯管代替反应舱。将其放入舱体内。开主机电源、开功率旋钮，观察灯管是否有产生辉光。（此时反应舱体应该为常压，即不抽真空）如果灯管没有产生辉光，即仪器有问题，检差射频电源等相关电子部分（最好请厂家帮助检查）。如果灯管产生辉光即真空部分有问题，检查真空系统（如真空管接口是否松动，真空管是否老化漏气等等）。