芯碁微装光刻机多少纳米

问题描述

精选答案

芯碁微装正在筹划晶圆级（WLP）的光刻直写设备，即在晶圆上直接封装芯片，而不是将晶圆先切割成芯片再进行封装。这是目前世界上最先进的芯片封装技术。

芯碁微装还承担了国家“8寸”、“130～90nm”等国家直写光刻设备的研制项目。