扩散泵返油的原因

问题描述

精选答案

如果说扩散泵反油的话，产品掉膜都会很严重，做其它产品都会掉膜，一定是工艺问题！

扩散泵返油特征比较明显，容易判断：

一是观察该黑点特征，一般为圆形，大小不一，基本在产品正面，擦拭即掉；

二是观察该黑点分布特征，一般在高阀进气口附近同一高度分布，如果产品离出口比较远时也可能会广些，背面基本不会有；

三是出现返油时，产品出炉时应该能闻到或轻或重的油焦味。

建议两点：

一是检查扩散泵前级压力，在抽气时是否过高（不应高于10帕），如偏高须检查前级机组性能；

二是检查扩散泵泵体温度，在中部及以上应当是凉的，如果暖甚至热时，需要检查冷却水的效果，下调温控系统温度或增加温控系统。