光刻机为什么是黄光区

问题描述

精选答案

么是黄光区？简单来讲，黄光区是指TFT工厂或者半导体工厂中的光刻区。包含光刻胶涂布、曝光、显影及刻蚀工序

黄光制程为啥不叫红灯区？绿灯区？

因为此区域的照明采用黄色光源，远远望去一片金黄··· ···

为啥要使用黄光而不是其他颜色的光源照明？

在半导体工业普遍使用的光刻胶，类似于相机的胶片，在遭遇光线照射(特别是紫外线)即有曝光之效果, 因此在显影之前, 都要远离此光源。

因为黄光的波长较长, 不容易使得光刻胶曝光, 因此将黄光作为显影前最理想的照明光源。