什么是冰刻机

问题描述

精选答案

冰刻机的工序是先把需要加工的硅片置入真空低温环境中，然后再用水蒸汽凝结成冰，代替光刻胶覆盖在硅片上。而凝结成冰的水蒸汽，又称“冰胶”，这层冰胶在电子束的作用下，能够发挥与光刻胶一样的作用，在硅片上蚀刻出电路图。