90nm与7nm光刻机什么区别

问题描述

精选答案

主要是光源波长不同。

90nm与7nm光刻机的最大区别是二者光源波长不同。

90nm光刻机属于第四代光源光刻机，使用的是深紫外光光源，波长为193nm，也就是duv光刻机，经过浸润式技术及镜头组调整到90nm。而所谓7nm光刻机实际上是第五代光刻机，并不是7nm光源，而是波长为13.5nm的极紫外光光源，也就是euv光刻机。