中芯国际7nm用的什么光刻机
问题更新日期：2024-10-20 04:02:07
问题描述
中芯国际7nm用的什么光刻机急求答案，帮忙回答下
- 精选答案
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中芯国际深圳工厂从荷兰进口了台大型光刻机，但这是设备正常导入，用于产能扩充，目前量产的最先进制程为第一代FinFET14nm.
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中芯国际7nm用的14nm光刻机
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