什么是感光干膜

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感光干膜是一种用于光刻工艺的高分子材料，具有高感光性和耐化学性能。它可以在光刻过程中，接受被曝光的光线，形成图案，用于制备集成电路、平板显示器、光学器件等微电子元件。

感光干膜通常由感光树脂、溶剂和助剂组成，通过涂布、烘干和暴晒等工艺制备得到。其优点包括成本低、加工简便、图案精度高等特点，因此在微纳加工领域得到了广泛应用。感光干膜的发展对于微电子制造工艺的进步和产品性能的提升具有重要意义。