等离子的优点和缺点

问题描述

精选答案

优点是等离子表面处理速度高、选择性好和对清洗有机污染物比较有效。

主要缺点是生成的氧化物可能在材料表面再次形成污染。

在引线键合工艺中，氧化物是最不希望有的化学清洗是利用等离子体里的高活性自由基与材料表面的有机物等进行化学反应。