微机电系统工程是研究什么的

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精选答案

本专业是以机、电技术,尤其是微机械为基础的,综合多种学科领域技术的新型交叉学科微机电系统（micro-electromechanicalsystem—MEMS）微机电系统基本上是指尺寸在几厘米以下乃至更小的小型装置，是一个独立的智能系统，主要由传感顺、作动器（执行器）和微能源三大部分组成。