真空等离子清洗的原理

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真空等离子清洗机运行原理

真空等离子清洗机是利用低压气体辉光等离子体。一些非聚合性无机气体（Ar2、N2、H2、O2等）在高频低压下被激发，产生含有离子，通过等离子体的“活性”组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。在真空腔体里，给一组电极施以射频电压（频率约为几十兆赫兹），电极之间形成高频交变电场，区域内气体在交变电场的激荡下，产生高能量的无序的等离子体，活性等离子对被清洗物进行表面物理轰击与化学反应双重作用，使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质，经过抽真空排出，以达到清洗、活化、接枝等目的。

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考研那些事

1 真空等离子清洗利用等离子体产生的化学反应和物理反应，将表面污染物分解或溶解，达到清洗清洁的目的。

2 等离子体产生的化学反应和物理反应使得表面物质发生电离、激发、解离等现象，通过等离子体中的反应物和表面污染物的反应，使表面污染物分解或溶解。

3 真空等离子清洗可用于不同类型的物体和材料清洗，并且不会对表面物质造成损伤或污染，是一种高效、环保、安全的表面清洗方法。

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财经镜鉴

真空等离子清洗机的工作原理是:在有效的真空度内,利用2个电极形成电磁场.随着气体越来越稀薄,分子之间受磁场作用发生碰撞而形成等离子体并产生辉光.等离子体在真空腔体空间内自由运动,不断轰击被处理材料表面并与其反应生成产物分子.撤去真空条件后,材料表面的产物分子与空气接触发生解析,生成活性基团