方控电阻参数

问题描述

精选答案

关系式：方块电阻Rs=ρ/w （其中ρ为薄层材料的电阻率,w为薄层材料的厚度）.

注意：

1-薄层材料的电阻率必须是均匀的.如样品是扩散层,本关系式不成立；

2-假如采用直线四点探针法测试样品,必须在w/s小于0.6的情况下（其中s为探针间距）,使用本关系式.