15sccm是多少大气压

问题描述

精选答案

1ml/min=1sccm

sccm是体积流量单位,

SCCM是标准立方米每分钟的缩写，是指在标准状态（即1个大气压，25℃）下每分钟1立方厘米（1ml/min）的流量，也就是说，SCCM是质量流量单位，不同于一般的流量单位。例如，1cc/sec是单位时间内通过的体积，而质量流量是单位时间内通过的气体摩尔数。这个单位通常用于化学反应，如CVD，为了精确控制原子组成比（理想气体公式：PV=NRT，在标准状态下，气体体积比等于摩尔比，所以只要控制气体的质量流量比，它等于反应气体的摩尔比）