湿制程是什么

问题描述

精选答案

包括了电渡设备：将电镀液中的金属离子电镀到晶圆表面，以形成金属互连；

清洗设备：去除晶圆表面的残余物、污染物等；

湿法刻蚀设备：通过化学刻蚀液和被刻蚀物质之间的化学反应将被刻蚀物质剥离下来。所用材料：电镀液、清洗液、刻蚀液等。