石英砣熔炼技巧

问题描述

精选答案

半导体行业对高端石英制品的需求持续增长，同时对石英制品的生产工艺要求也逐步提高。制备石英制品的工艺方法有电连熔、二步法、合成法。较为节省成本的方法是电连熔，但是这种工艺制备出的石英制品的质量相对较低，杂质含量高，气泡等其他缺陷多。二步法通过制成石英砣来二次加工成石英制品，这种方法的优点是生产工艺灵活。制砣的工艺主要有气炼制砣和等离子制砣。气炼制砣是利用氢氧焰作为热源来加热石英砂或天然石英的方法制备石英砣；等离子制砣是利用等离子体为热源，将原料熔化沉积制砣。各种高端石英制品还是通过二步法来制备，二次成型石英制品的质量会大大提高。

高端石英制品对成品的质量要求非常高，要求低羟基、无气泡、无黑点、无析晶、无包裹物、无其他任何杂质，这就对制成石英砣的原材料和生产工艺要求非常苛刻。石英制品的生产除了原材料的影响，更主要的是对生产工艺有严格的要求。一旦生产石英砣的生产工艺有缺陷，经过高温生产出的石英砣就会出现很多问题，造成大量产品报废，所以制定合适的生产石英砣的工艺路线非常重要。

如今，国内主要通过气炼制砣来制备石英砣，这种方法制备的石英砣羟基含量高、内部氧结构缺陷大，增加了后期的处理工序。等离子制砣，虽然羟基含量少，质量高，但是生产成本非常高。这两种制砣方法在生产过程中都会增大材料烧损量，且会对环境造成粉尘污染，危害员工的身体健康。