如何去除芯片表面的钝化层

问题描述

精选答案

不知道有化学方法，不过有物理方法：

用（高温）风枪对着芯片四周吹，温度够了用镊子直接就把芯片拿下来了。也可以用电烙铁+吸锡器组合，要稍微麻烦一些。有一种带吸锡功能的电烙铁能直接把融化的锡吸走，解放出一只手可以拿镊子。

一般不会伤主板，但那么高的温度，也说不准会中奖。

其他回答

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目前通常的做法主要是采用RIE干法刻蚀手段。通过高能等离子体轰击芯片表面钝化层材料，采用物理方法去除钝化层，这种做法对于SiO2, SiNx材料以及磷硅玻璃等非常方便快捷，但是对于聚酰亚胺薄膜材料，RIE干法刻蚀技术往往显得无能为力。