二氧化硅垫层的作用

问题描述

精选答案

二氧化硅在以下两个方面起重要作用:

一是保护器件的表面及内部。在表面形成的二氧化硅密度非常高(无孔),非常硬。因此二氧化硅层起污染阻挡层的作用,它可以阻挡环境中脏物质侵入敏感的晶圆表面、同时,它的硬度可防止晶圆表面在制造过程中被划伤及增强晶圆在生产流程过程中的耐用性。