光刻为什么要洗晶边

问题描述

精选答案

在光刻胶旋涂的过程中，多余的胶会被离心力推到晶圆的边缘，大部分被甩离晶圆，有一部分残留在晶圆边缘。

由于晶圆边缘气流相对速度很大，导致残留的胶很快固化，形成隆起的边缘。

在表面张力的作用下，少量的胶甚至沿着边缘流到晶圆背面，对晶圆背面造成污染，且这部分胶容易发生剥离而影响其他部分的图形，或者造成污染，需要在旋涂结束后立即去除。