负胶光刻原理

问题描述

精选答案

光刻负胶，树脂是聚异戊二烯，一种天然的橡胶；溶剂是二甲苯；感光剂是种经过曝光后释放出氮气的光敏剂，产生的自由基在橡胶分子间形成交联。从而变得不溶于显影液。

负性光刻胶在曝光区由溶剂引起泡涨;曝光时光刻胶容易与氮气反应而抑制交联。