deep-submicron是什么意思

问题描述

精选答案

深亚微米，通常把0.8—0.35μm称为亚微米，0.25μm及其以下称为深亚微米，深亚微米制造的关键技术主要包括紫外光刻技术、等离子体刻蚀技术、离子注入技术、同互连技术等。