光刻机的镜头是用什么材料制成的

问题描述

精选答案

光刻机镜头通常是由合成石英制成，比如如氟化钙。

光刻机的镜头一般分为：照明系（光源+产生均匀光的光路），STAGE，镜头，搬送系等。当波长涉及到紫外区时，常规玻璃吸收率很大，因此能使用的材料较少。镜头工作波长193nm，使用了合成石英以实现较高透过率。对于DUV常用的另一波长157nm，透过率较高的是氟化物晶体Fluoride Crystal，例如氟化钙CaF2、氟化钡BaF2等。

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光刻机的镜头是由20多块儿锅底大的高纯度透光材料组成的