工艺清洗什么意思

问题描述

精选答案

工艺清洗是在于去除衬底材料表面的有机物、金属玷污以及非金属玷污，超临界二氧化碳干燥能够去除微小结构中的玷污，同时防止释放的微结构黏附在衬底上。

清洗工艺包括标准清洗、去胶清洗、薄膜淀积前清洗、兆声清洗。处理材料：直径为100mm的硅片、玻璃片以及SOI，厚度范围400－1500um。